特許
J-GLOBAL ID：200903053777901364
ダイヤモンド保護膜を有する電熱器およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
沼形 義彰 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302547
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145442
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 半導体基板上に形成された電熱器において、熱伝導を迅速に行わせる。【解決手段】 半導体基板10上に酸化シリコン膜11と、ダイヤモンド膜13と発熱体15とを設けて電熱器を構成し、この電熱器の上をダイヤモンド保護膜16で覆った。さらに、電熱器の下面に断熱空間18を設けるとともに、電熱器の下方に位置する酸化シリコン層11を除去した。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に形成した電熱器において、発熱体をダイヤモンド保護膜で覆ったことを特徴とするダイヤモンド保護膜を有する電熱器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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