特許

J-GLOBAL ID：200903053786820598

ドライ真空ポンプの軸封用パージガス量制御装置

発明者： 三橋 晋司 ,  納谷 孝太郎 ,  宗村 義勝
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-135606
公開番号（公開出願番号）：特開平6-346882
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：

【要約】【構成】油室側23にラビリンス,ねじシール6の組合わせ、真空作動室側24にシールリングを設けた軸封21に不活性ガスを供給し、油室側23に流れる不活性ガス量を、不活性ガス排気管26に取り付けられている絞り弁27にて調節できるよう構成した。【効果】少ないパージガス量で、真空作動室への油の流入を防止するとともに、真空作動室側に多くのパージガスを流し、真空作動室内の温度を高温にしてプロセスガスの生成物の発生を防止する。

請求項（抜粋）：

油室と真空作動室の軸封にパージガス方式を用いたドライ真空ポンプに於いて、油室からのパージガスを排気する配管に、前記パージガスの排気流量を調整できる絞り弁を取り付けたことを特徴とするドライ真空ポンプの軸封用パージガス量制御装置。