特許
J-GLOBAL ID：200903053788253895
光学的検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-314592
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132949
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 生物組織に代表される光学的散乱体の内部構造を無侵襲に、高いコントラストで計測できる光学的検査装置を提供する。【解決手段】 光学的検査装置1には、一枚の回転遮光板5上に多数の第1のピンホール5cと第2のピンホール5dが該回転遮光板5の回転軸5bに対して2回回転対称となるように設けられている。検査光L1は第1のピンホール5cを通って検査物体14に照射される。物体14からの散乱光L8を参照光L4と重ね、干渉像を第2のピンホール5dに結像させる。検査物体14中の限られた領域からの散乱光L8と参照光L10とを干渉させ、その強度を検出し、検査物体14内の構造を画像化する。
請求項（抜粋）：
空間的に不均一な光吸収特性と光散乱特性を有する被検物体に対して、自己可干渉距離が該被検物体の空間的広がりより短い検査光を照射し、被検物体内に進入した検査光の非散乱成分を該被検物体の任意の部位に集光させる照射光学系と、上記検査光を、被検物体手前で、位相特性を保持したまま参照光として分割する手段と、該参照光が通過する光路長可変の参照光光路と、上記被検物体から散乱される後方散乱光を一定の立体角の下で集光する手段と、集光した後方散乱光と、上記参照光通路を通過した参照光とを干渉させて干渉光を形成する手段と、該干渉光を検出する光検出器と、該干渉光の光量を被検物体の集光部位に対応させて画像表示する手段と、上記参照光分割手段の手前の上記照射光学系中に配置された検査光が通過する第1のピンホールと、上記干渉光形成手段と光検出器との間に配置された、干渉光の通過する第2のピンホールと、を備え;上記照射光学系が、上記第1のピンホールの像を、被検物体内の上記部位に結像させるものであり、さらに、上記部位からの後方散乱光と参照光との干渉光を上記第2のピンホール近傍の位置に結像させる手段を備えることを特徴とする光学的検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/49 Z
, A61B 10/00 E
