特許

J-GLOBAL ID：200903053790483016

インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者： 高橋 哲司
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-280081
公開番号（公開出願番号）：特開2001-096745
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：

【要約】【課題】 安定したインク吐出特性が得られると共に、クロストークを抑えたインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室15と、該圧力発生室15に対応する領域に設けられて前記圧力発生室15内に圧力変化を生じさせる圧電素子300とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧力発生室15を、絶縁層11の両面に単結晶シリコンからなるシリコン層を有するSOI基板の一方のシリコン層12に形成すると共に、他方のシリコン層13には前記絶縁層11まで貫通する貫通部20を前記圧力発生室15にそれぞれ対向するように設け、前記圧電素子300を前記貫通部20内の前記絶縁層11上に設ける。

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に対応する領域に設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧力発生室が、絶縁層の両面に単結晶シリコンからなるシリコン層を有するSOI基板の一方のシリコン層に形成されると共に、他方のシリコン層には前記絶縁層まで貫通する貫通部が前記圧力発生室にそれぞれ対向するように設けられ、前記圧電素子が前記貫通部内の前記絶縁層上に設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (20件)：

2C057AF40 ,  2C057AF71 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AG82 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP24 ,  2C057AP25 ,  2C057AP27 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AP51 ,  2C057AP52 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AP79 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14