特許
J-GLOBAL ID：200903053790632216

窒化ガリウム結晶の製造方法

発明者：
油利 正昭

油利 正昭 について

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上田 哲三

上田 哲三 について

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馬場 孝明

馬場 孝明 について


出願人/特許権者：
松下電子工業株式会社

松下電子工業株式会社 について


代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-090673
公開番号（公開出願番号）：特開平10-287496
出願日： 1997年04月09日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 平坦性、結晶性に優れた窒化ガリウム厚膜結晶を提供する。【解決手段】 窒化ガリウム結晶の製造工程に、ガリウムを含むガス雰囲気中でシリコン基板1を加熱する第一の工程と、前記シリコン基板1上に第一の窒化ガリウム3を形成する第二の工程と、前記第一の窒化ガリウム3上に前記第一の窒化ガリウム3の形成温度よりも高温で第二の窒化ガリウム4を形成する第三の工程とを備える。
請求項（抜粋）：
ガリウムを含むガス雰囲気中で基板を加熱する第一の工程と、前記基板上に第一の窒化ガリウムを形成する第二の工程と、前記第一の窒化ガリウム上に前記第一の窒化ガリウムの形成温度よりも高い温度で第二の窒化ガリウムを形成する第三の工程とを有することを特徴とする窒化ガリウム結晶の製造方法。
IPC (4件)：
C30B 29/38 ,  H01L 21/205 ,  H01L 29/12 ,  H01S 3/18
FI (4件)：
C30B 29/38 D ,  H01L 21/205 ,  H01S 3/18 ,  H01L 29/14
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (11件)
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