特許

J-GLOBAL ID：200903053795037189

露光方法および露光装置

発明者： 白石 雅之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-252225
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068601
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：

【要約】【課題】 パルス状に発光する光源を有する露光装置において、ウエハステージと鏡筒との相対振動の影響を小さくし、位置精度良く露光転写を行う露光方法を提供する。【解決手段】 鏡筒11とウエハステージ12は相互に振動し、その相対振動は静電容量センサー13により測定される。この振動データの信号131は検出及びトリガー回路14に与えられ、所望のタイミングでトリガー信号141を出力する。トリガー信号141は、光源系15の外部トリガー入力端子151に接続され、その信号をもとにパルス光源系15が駆動される。トリガー信号141は、相対振動が、そのゼロ点を1方向に横切ったタイミングで出力される。これにより、相対振動が露光位置精度に与える影響を数分の1にすることができる。

請求項（抜粋）：

パルス状に発光する光源と、マスクを搭載するマスクステージと、ウエハを搭載するウエハステージと、マスク上のパターンを転写する投影光学系を搭載する鏡筒とを有し、光源からの光によりマスクを照射し、マスクに形成されたパターンをウエハに転写する露光装置の露光方法であって、前記光源の発光を、前記マスクステージ、前記ウエハステージ、前記鏡筒のうちの2つの間の相対振動のうち、少なくとも1つの相対振動に同期させて制御することを特徴とする露光方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 531 E ,  H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (7件)：

5F046AA23 ,  5F046DA01 ,  5F046DA04 ,  5F046DB04 ,  5F046GA14 ,  5F046GB09 ,  5F046GC03