特許

J-GLOBAL ID：200903053796663466

酸化物系セラミックス膜の製造方法

発明者： 佐久間 健人 ,  宮沢 薫一 ,  馬場 芳美 ,  水野 祥樹
出願人/特許権者： 株式会社アドバンス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-280291
公開番号（公開出願番号）：特開平7-173634
出願日： 1993年10月14日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：

【要約】【目的】 金属化合物の溶液、ゾルを原料とした酸化物系セラミックス膜を製造する方法を提供する。【構成】 溶液を静電霧化により微粒子化することにより、霧化部と処理対象間で揮散させ、処理対象表面上に、溶媒分子をほとんど含まないゲル膜を形成することにより、割れのない均一な膜の製造を行う。

請求項（抜粋）：

金属化合物あるいは珪素化合物のアルコール溶液、水溶液、或いはゾルを静電霧化し、処理対象物表面に塗着させることにより、均一な厚さの膜を形成させた後、焼成することにより、処理対象物表面にセラミックスを形成することを特徴とする酸化物系セラミックス膜の製造方法。