基板へのダイシング・ダイボンドテープの貼り付け装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和田昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-144328
公開番号（公開出願番号）：特開2004-349435
出願日： 2003年05月22日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【課題】基板の形状に形成されたダイボンドテープと広幅のダイシングテープとからなるダイシング・ダイボンドテープを基板に自動的に貼り付けることができると共に、薄膜化した基板が破損することが無い貼り付け装置を提供する。【解決手段】基板(ウエーハ5)を固定する吸着加熱テーブル36と、基板に対してダイボンドテープ3の部分を圧着するダイボンドテープ貼付ローラ34と、ダイボンドテープ3に貼り付けられた基板を支持する支持テーブル19と、ダイシングフレーム6を固定する載置テーブル40と、ダイシングフレーム6にダイシングテープ2を圧着するダイシングテープ貼付ローラ35と、ダイシングテープ2をダイシングフレーム6に沿って切断する円周運動を行うカッター刃62とからなる基板へのダイシング・ダイボンドテープ1の貼り付け装置。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板形状のダイボンドテープが広幅のダイシングテープに貼り付けられたダイシング・ダイボンドテープの基板への貼り付け装置において、基板を適宜手段で固定する吸着加熱テーブルと、吸着加熱テーブル上の基板に対してダイシング・ダイボンドテープのダイボンドテープの部分を圧着するダイボンドテープ貼付ローラと、ダイボンドテープに貼り付けられた基板を吸着加熱テーブルの反対側から進退動してダイシングテープ及びダイボンドテープを介して支持する支持テーブルと、ダイシングフレームを適宜手段で固定する載置テーブルと、載置テーブル上のダイシングフレームに対してダイシング・ダイボンドテープのダイシングテープを圧着するダイシングテープ貼付ローラと、ダイシングフレーム上に貼り付けられたダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断する円周運動を行うカッター刃とからなることを特徴とする基板へのダイシング・ダイボンドテープの貼り付け装置。

IPC (2件)：

H01L21/301 , H01L21/68

FI (2件)：

H01L21/78 M , H01L21/68 N

Fターム (5件)：

5F031CA02 , 5F031DA15 , 5F031HA78 , 5F031MA34 , 5F031MA37

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-045579
特開平4-135198
特開昭63-031971

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審査官引用 (4件)

特開平2-045579
特開平4-135198
特開昭63-031971

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