特許

J-GLOBAL ID：200903053808253811

高周波誘導熱プラズマ装置

発明者： 小 牧 久
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-177014
公開番号（公開出願番号）：特開2001-011638
出願日： 1999年06月23日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】 トーチの長さを長くせず、且つ異常放電発生を防止する。【解決手段】 トーチ1を成す円筒部材2の外側管に誘導コイル20を複数段に亘って巻く。又、誘導コイルをコイル自身の素材をむき出しのまま円筒部材2の外側管に巻かず、誘導コイルの外側をテフロンで被覆し、各コイル間の隙間を小さくして巻く。

請求項（抜粋）：

絶縁性物質で形成された管に巻かれた誘導コイルに高周波電力を供給することによって管内に高周波誘導熱プラズマを発生させるように成した高周波誘導熱プラズマ装置において、前記管に、誘導コイルを複数段巻く様に成した高周波誘導熱プラズマ装置。

IPC (3件)：

C23C 16/50 ,  C23C 14/26 ,  H05H 1/46

FI (3件)：

C23C 16/50 C ,  C23C 14/26 B ,  H05H 1/46 L

Fターム (8件)：

4K029CA01 ,  4K029DB15 ,  4K029DB19 ,  4K030EA01 ,  4K030EA06 ,  4K030FA04 ,  4K030KA30 ,  4K030KA46