特許

J-GLOBAL ID：200903053813441006

プロセス異常分析装置およびプロセス異常分析方法並びにプログラム

発明者： 中村 寿一 ,  大林 茂 ,  萩原 健一郎 ,  合川 禎一
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-251247
公開番号（公開出願番号）：特開2008-071270
出願日： 2006年09月15日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：

【課題】 ラビング装置等において、より適切なプロセス特徴量を算出し、最適なラビング状態を得られるモデルを得て、そのモデルに基づいてリアルタイムに異常分析するプロセス異常分析装置を提供すること【解決手段】 ラビング装置から得られた時系列のプロセスデータを記憶するプロセスデータ記憶部21と、プロセスデータ記憶部に格納されたプロセスデータからプロセス特徴量を抽出するプロセスデータ編集部22と、プロセス特徴量からラビング装置の異常検出を行なうための異常分析ルールを記憶する異常分析ルールデータ記憶部26と、異常分析ルールにより、プロセス特徴量からラビング装置の異常の有無を判定する異常判定部24と、を備える。プロセスデータ編集部は、周波数成分を含む時系列データからなるプロセスデータに対し、ウェーブレット変換を行ない前記プロセス特徴量を抽出する機能を含むようにした。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

1または複数の製造装置からなる製造システムにおいて、プロセス実行時に得られるプロセスデータに基づいてプロセスの異常を単位対象品毎に検出するプロセス異常分析装置であって、 前記時系列のプロセスデータを記憶するプロセスデータ記憶手段と、 そのプロセスデータ記憶手段に格納されたプロセスデータからプロセス特徴量を抽出するプロセスデータ編集手段と、 プロセス特徴量を用いて前記製造システムで製造される製品並びに前記製造装置の異常検出を行なうための異常分析ルールを記憶する異常分析ルールデータ記憶手段と、 前記異常分析ルールにより、前記プロセス特徴量から前記製品並びに前記製造装置の異常の有無を判定する異常判定手段と、 を備え、 プロセスデータ編集手段は、周波数成分を含む時系列データからなるプロセスデータに対し、ウェーブレット変換を行ない前記プロセス特徴量を抽出する機能を含むことを特徴とするプロセス異常分析装置。

IPC (2件)：

G05B 23/02 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

G05B23/02 302R ,  H01L21/02 Z ,  G05B23/02 301X ,  G05B23/02 V

Fターム (4件)：

5H223AA05 ,  5H223BB01 ,  5H223DD03 ,  5H223EE30

引用特許：

出願人引用 (2件)

• モデル化装置及びモデル解析方法並びにプロセス異常検出・分類システム及びプロセス異常検出・分類方法並びにモデル化システム及びモデル化方法並びに故障予知システム及びモデル化装置の更新方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-351850   出願人：オムロン株式会社
• 特開昭55-143525号公報