特許

J-GLOBAL ID：200903053817752146

露光装置

発明者： 加茂野 隆
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-363449
公開番号（公開出願番号）：特開2007-165778
出願日： 2005年12月16日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】 真空露光装置においてレチクルを保管または搬送している間にレチクへ塵埃が付着することを防ぎ生産性の向上を目的とする。【解決手段】 ロードロック室24を介して、真空排気手段29、30が接続されたチャンバ3と装置外部との間でレチクル収納容器27の搬送を行う露光装置であって、前記レチクル収納容器を開閉するための開閉手段13が前記チャンバ3内に配置されかつ前記レチクル収納容器を保管するレチクル保管部12を前記チャンバー内に備えることを特徴とする露光装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ロードロック室を介して、真空排気手段が接続されたチャンバと装置外部との間でレチクル収納容器の搬送を行う露光装置であって、 前記レチクル収納容器を開閉するための開閉手段が前記チャンバ内に配置されることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/677

FI (2件)：

H01L21/30 515F ,  H01L21/68 A

Fターム (16件)：

5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031NA14 ,  5F046AA21 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特登録3320628号公報