特許
J-GLOBAL ID：200903053818106655
真空容器内の半導体ウエハの有機パーティクルモニタ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-235691
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048724
出願日： 2000年08月03日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、ウエハ表面に付着した有機パーティクルの種類や粒径等を真空雰囲気下でin-situ方式により測定することのできる真空容器内の半導体ウエハの有機パーティクルモニタ装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明による真空容器内の半導体ウエハの有機パーティクルモニタ装置は、レーザービーム(11A)をウエハ(1)に誘導するための第1光学系(12)及び第2光学系(14)と、真空容器(10)に設けられた石英窓(10A)と、有機パーティクル(6)にレーザビーム(11A)が照射されることにより有機パーティクル(6)から放出される蛍光(20)を検出するための光学検出器(17)と、石英窓(10A)及び第2光学系(14)を透過した蛍光(20)を光学検出器(17)に誘導するための第3光学系(16)とを備え、光学検出器(17)で検出された蛍光(20)に基づき真空雰囲気下で有機パーティクル(6)の少なくとも粒径、粒子数または種類を検出する構成である。
請求項（抜粋）：
レーザー発振器(11)から発振されるレーザービーム(11A)を半導体製造装置の真空容器(10)内に設置されたウエハ(1)に照射することにより、前記ウエハ(1)の表面上に付着した有機パーティクル(6)を測定する真空容器内の半導体ウエハの有機パーティクルモニタ装置において、前記レーザービーム(11A)を前記ウエハ(1)に誘導するための第1光学系(12)及び第2光学系(14)と、前記第2光学系(14)を透過したレーザービーム(11A)を前記真空容器(10)内に配設された前記ウエハ(1)に誘導するために、前記真空容器(10)に設けられた石英窓(10A)と、前記有機パーティクル(6)に前記レーザビーム(11A)が照射されることにより前記有機パーティクル(6)から放出される蛍光(20)を検出するための光学検出器(17)と、前記有機パーティクル(6)から放出され、さらに前記石英窓(10A)及び前記第2光学系(14)を透過した蛍光(20)を前記光学検出器(17)に誘導するための第3光学系(16)とを備え、前記光学検出器(17)で検出された前記蛍光(20)に基づき、真空雰囲気下において前記有機パーティクル(6)の少なくとも粒径、粒子数または種類を検出することを特徴とする真空容器内の半導体ウエハの有機パーティクルモニタ装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01N 15/02
, G01N 21/64
, G01N 21/956
G01N 21/88 K
, G01N 15/02 A
, G01N 21/64 Z
, G01N 21/956 A
2G043AA06
, 2G043BA14
, 2G043CA05
, 2G043DA08
, 2G043EA01
, 2G043GA08
, 2G043GB07
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA04
, 2G043HA07
, 2G043HA08
, 2G043HA15
, 2G043JA02
, 2G043JA03
, 2G043KA03
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA03
, 2G051AA51
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051BA05
, 2G051BA10
, 2G051BB07
, 2G051CA01
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CB10
, 2G051CC07
, 2G051CC09
, 2G051CC11
