特許
J-GLOBAL ID：200903053821693170
加速器用真空チェンバの製作方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-183184
公開番号（公開出願番号）：特開2002-008898
出願日： 2000年06月19日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：
【要約】【課題】 セラミックスを素材としチェンバ本体に対して非磁性体金属を素材とした短管部材を接合できるようにする。【解決手段】 セラミックスを素材とした筒状のチェンバ本体21の端部付近に面取り加工を施して、面取り加工部分にCu無電解めっき層25及びCuめっき被膜26を順に形成させ、ステンレス鋼を素材とし且つチェンバ本体21よりも外径が小さい短管部材22の外周面に銅が電着可能な下地金属めっき被膜27を形成させ、チェンバ本体21の端部と短管部材22とを同軸に突き合わせ、Cuめっき被膜26と下地金属めっき被膜27に電着するCu電鋳厚肉層28を形成させて、セラミックスとは熱膨張率が異なる非磁性体金属を素材とした短管部材22を非高温条件でチェンバ本体21に取り付ける。
請求項（抜粋）：
セラミックスを素材とした筒状のチェンバ本体の端部に銅めっき被覆層を形成させ、非磁性体金属を素材とし且つチェンバ本体よりも外径が小さい短管部材の外周面に銅が電着可能な下地金属めっき被膜を形成させ、チェンバ本体の端部と短管部材とを同軸に突き合わせたうえ、銅めっき被覆層と下地金属めっき被膜との双方に電着する銅電鋳厚肉層を形成させることを特徴とする加速器用真空チェンバの製作方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2G085AA13
, 2G085BA16
, 2G085BC13
, 2G085BD02
, 2G085BE10
, 2G085EA04
