特許

J-GLOBAL ID：200903053822858351

圧電体基板とその製法及びそれを用いた弾性表面波機能素子

発明者： 柴田 佳彦 ,  久世 直洋
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-129987
公開番号（公開出願番号）：特開平10-322158
出願日： 1997年05月20日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 電気機械結合定数が大きく、弾性表面波速度も大きい圧電体基板を提供する。【解決手段】 (012)サファイア基板上に(100)LiNbO3 薄膜があり、該サファイア基板のC軸の投影線方向とLiNbO3 膜のC軸方向が互いに平行である事を特徴とする圧電体基板を用い、弾性表面波の伝搬方向を制御することにより、大きな弾性表面波速度と電気機械結合定数を有する弾性表面波の使用を可能にした弾性表面波機能素子。

請求項（抜粋）：

(012)サファイア基板上に(100)LiNbO3 膜を有し、前記サファイア基板の結晶軸のC軸の投影線方向と、前記LiNbO3 膜の結晶軸のC軸方向が互いに平行であることを特徴とする圧電体基板。

IPC (4件)：

H03H 9/145 ,  C30B 29/30 ,  H01L 41/09 ,  H03H 3/08

FI (4件)：

H03H 9/145 C ,  C30B 29/30 A ,  H03H 3/08 ,  H01L 41/08 C