特許
J-GLOBAL ID：200903053832521240
液体吐出ヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345105
公開番号（公開出願番号）：特開2000-225711
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】【課題】 液体吐出ヘッドの製造工程中に可動部材が破損変形することを防止する。【解決手段】 素子基板1の気泡発生領域10に相当する位置にPSG膜(間隙形成部材)101を形成する。そして、素子基板1およびPSG膜101の表面にSiN膜(第1の材料層)102を形成する。次に、SiN膜102の表面に耐エッチング保護膜(Al膜)103を形成する。次に、SiN膜102および耐エッチング保護膜103をパターンエッチングして可動部材の形状にする。そして、ダイシングソーを用いて素子基板1を切断して複数に分割する。次に、SiN膜104(第2の材料層)を形成する。次に、SiN膜104をパターンエッチングして流路側壁の形状にする。そして、SiN膜102上の耐エッチング保護膜103を除去し、さらにPSG膜101を除去することにより液体吐出ヘッドが完成する。
請求項（抜粋）：
互いに対向する状態で固定される素子基板および天板と、前記天板と前記素子基板との間に設けられ複数の液流路を区画する複数の流路側壁と、複数の前記液流路内にそれぞれ位置するように前記素子基板の表面に並列に設けられた複数の吐出エネルギー発生素子と、複数の前記吐出エネルギー発生素子のそれぞれに対向するように前記素子基板上に段けられ、前記液流路内の液体の進行方向の上流側の端部が固定され、下流側の端部が自由端となる片持ち梁状の複数の可動部材とを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記素子基板の前記吐出エネルギー発生素子が設けられた表面の、該吐出エネルギー発生手段の発生する熱エネルギーにより液体に気泡が発生する気泡発生領域に相当する位置に間隙形成部材を形成する工程と、前記間隙形成部材上に、前記可動部材となる第lの材料層を積層する工程と、耐エッチング保膜膜を前記可動部材の形状にパターニングする工程と、パターニングされた前記耐エッチング保護膜の上面および側面を覆うように、前記流路側壁となる第2の材料層を積層する工程と、前記第2の材料層の、前記液流路内に相当する部分をエッチングにより除去し、前記流路側壁および前記液流路を形成する工程と、前記可動部材をパターニングする工程と前記第2の材料層を積層する工程との間に、前記素子基板を切断し複数に分割する工程と、前記液流路を形成した後に前記間隙形成部材を除去する工程とを有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
