特許
J-GLOBAL ID：200903053832562787
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-260735
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101702
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 伝達ゲルが腐食性流体によって腐食されることなく、その腐食性流体の圧力を正しく伝達できる圧力センサを提供する。【解決手段】 開口部11a及び孔内部11bを有した有底孔11が設けられたボディ1と、孔内部11bに連通した軸孔23を設けてその軸孔23を遮蔽するよう圧力センサチップ3が基端部端面21aに密着固定された圧力導入管2と、圧力導入管2の軸孔23及びボディ1の孔内部11bに充填されたフッ素オイル4と、孔内部11bに設けられてフッ素オイル4を密閉するとともにそのフッ素オイル4に圧力を伝達する伝達ゲル5とを備え、圧力センサチップ3が開口部11aから導入された腐食性流体の圧力を伝達ゲル5及びフッ素オイル4を介して検知する圧力センサにおいて、前記伝達ゲル5よりも良好な耐腐食性を有した耐食性ゲル6は、前記ボディ1の開口部11a側における前記伝達ゲル5の端部に設けられた構成にしてある。
請求項（抜粋）：
開口部及び孔内部を有した有底孔が設けられた有底筒状のボディと、孔内部に連通した軸孔を設けてその軸孔を遮蔽するよう圧力センサチップが基端部端面に密着固定された圧力導入管と、圧力導入管の軸孔及びボディの孔内部に充填されたオイルと、孔内部に設けられてオイルを密閉するとともにそのオイルに圧力を伝達する伝達ゲルとを備え、圧力センサチップがボディの開口部から導入された腐食性流体の圧力を伝達ゲル及びオイルを介して検知する圧力センサにおいて、前記伝達ゲルよりも良好な耐腐食性を有した耐食性ゲルは、前記開口部側における前記伝達ゲルの端部に設けられたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 19/06 A
, H01L 29/84 B
