特許

J-GLOBAL ID：200903053841433906

顕微鏡

発明者： 安武 正敏
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-116339
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312563
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】 AMFやMFMにおける観察する試料を大きさ且つ重いものでも可能にする。【構成】 探針を取り付けたカンチレバーと、カンチレバーをZ方向に距離調整するZ方向距離調整用ピエゾ素子と、レーザー光をカンチレバーの裏面に照射するファイバーの端部をXYZ方向に走査する3次元スキャナーチューブに取り付け、カンチレバーの変位を光の干渉にて測定するプローブ走査型の顕微鏡。【効果】 試料を載置する試料台部の自由どが増え、試料の大型化、重量化に耐える構造をとることができる。

請求項（抜粋）：

測定する試料表面に近づけ、前記試料表面からの物理量を検出する探針と、前記探針を先端部に取り付け、バネ性を有し前記物理量により変位するカンチレバーと、前記カンチレバーを支持し、変位方向に伸縮可能なZ方向距離調整ピエゾ素子と、前記カンチレバーの裏面に光を照射するためのレーザーと、前記光をファイバーを介して前記カンチレバーの裏面に照射し、該カンチレバーおよび該ファイバー端面から反射した光を第1のフォトダイオートに出力するための方向性カプラーと、前記ファイバーからの光を前記カンチレバーの裏面に照射するように前記ファイバーの端部を支持し、また前記Z方向距離調整ピエゾ素子を支持し、前記探針が前記試料表面を走査するようにXYZ方向に伸縮可能な3次元スキャナーチューブと、からなることを特徴とする顕微鏡。

IPC (4件)：

G01B 21/30 ,  G01B 11/30 ,  H01J 37/28 ,  G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-296612
  
• 特開平4-184201
  
• 特開平4-052531