特許

J-GLOBAL ID：200903053847056675

露光装置

発明者： 小出 博之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-023783
公開番号（公開出願番号）：特開2001-217175
出願日： 2000年02月01日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】 走査方向の照度ムラを低減するとともに、第一の走査による露光と、第二の走査による露光との接続部分の照度ムラを低減する。【解決手段】 パルス発光するパルス光源1と、原版であるレチクル3に転写用パターンとして形成された原版のパターンを該パルス光源1により感光体であるウエハ5上に転写する照明光学手段と、レチクル3、及びウエハ5を所定の方向に同期走査する手段とを有し、走査方向の照度分布、及び走査方向に対し垂直方向の照度分布をともに台形状とする照明手段を具備し、レチクル3及びウエハ5の同期走査による露光、及びウエハ5の露光領域の走査方向に対し垂直方向への移動を繰り返すことにより、前記原版のパターンをウエハ5上に転写する。

請求項（抜粋）：

パルス発光するパルス光源と、転写用パターンとして原版に形成された原版のパターンを該パルス光源により感光体上に転写する照明光学手段と、該原版、及び該感光体を所定の方向に同期走査する手段とを有する露光装置において、走査方向の照度分布、及び走査方向に対し垂直方向の照度分布をともに台形状とする照明手段を具備し、前記原版及び前記感光体の同期走査による露光、及び前記感光体の露光領域の走査方向に対し垂直方向への移動を繰り返すことにより、前記原版のパターンを前記感光体上に転写することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 514 A

Fターム (13件)：

5F046AA11 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB08 ,  5F046CB23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DA06 ,  5F046DA07