特許
J-GLOBAL ID：200903053850118444
均熱セラミックスヒーター
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-071787
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280462
出願日： 1994年04月11日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は半導体や液晶プロセスなどに使用したときに、半導体ウエハーや液晶用ガラス板の温度分布を均一とし、これらを品質のバラツキのないものとすることができる均熱セラミックスヒーターの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の均熱セラミックスヒーターは、電気伝導部と絶縁層の少なくとも2層からなる積層セラミックスヒーターにおいて、この絶縁層面に熱線の乱反射が起こるのに充分な凹凸部を設けてなることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
電気伝導部と絶縁層の少なくとも2層からなる積層セラミックスヒーターにおいて、この絶縁層面に熱線の乱反射が起こるのに充分な凹凸部を設けてなることを特徴とする均熱セラミックスヒーター。
IPC (6件)：
F27D 11/02
, C23C 14/50
, C23C 16/46
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H05B 3/14
