特許
J-GLOBAL ID：200903053856551220
超音波アレイ探触子の製法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-165335
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013542
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】超音波アレイ探触子を、歩留まり良く製作する方法を提供する。【構成】超音波振動子1をFPC2a,2bと台座3とバッキング材4を積層し、その後、超音波振動子1を所定のピッチで切断してアレイ状にした構造で、切断の際に、超音波振動子1に固着した銀電極1a,1bの折り返しコーナ部5a,5bが、その振動や摩擦で剥離,断線するのを防ぐため、折り返しコーナ部5a,5bを切断前に補強する。
請求項（抜粋）：
超音波振動子を細長く切断してアレイ状に並べた超音波アレイ探触子において、前記超音波振動子の電極折り返し部分を補強して切断することを特徴とする超音波アレイ探触子の製法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01N 29/24 502
, H01L 41/09
