特許
J-GLOBAL ID：200903053860578826
組成及び格子歪測定用電子顕微鏡及びその観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-148853
公開番号（公開出願番号）：特開平7-006725
出願日： 1993年06月21日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 多層薄膜試料の界面や薄膜内における組成変化及び3次元格子歪構造を原子オーダの分解能で検出し、定量解析する。【構成】 くさび形にへき開した試料片12に加速した電子線1を入射し、透過像19上に現われる等厚干渉縞23を検出し、該等厚干渉縞23の距離tが格子面傾斜によって変化する現象を利用して格子面傾斜角度分布を測定して、格子歪構造解析を行い、更に等厚干渉縞23が組成変化のみを表す様に処理して組成分布の定量解析も行う。【効果】 ヘテロ界面や薄膜内の組成変化及び格子歪構造を原子オーダの分解能で評価することにより、歪超格子デバイス等の特性と組成変化及び格子歪構造との関係が解明でき、不良解析のみならず、プロセス条件やデバイス構造の最適化に関する知見が得られる。
請求項（抜粋）：
熱電界放出型電子銃、電子レンズ、電子線偏向コイル、試料ホルダ、試料傾斜機構、画像記録装置及び制御用ソフトと画像処理ソフトを搭載した計算機よりなる電子顕微鏡であって、くさび形にへき開した結晶性試料片を固定する手段と、前記試料片の透過電子顕微鏡像を複数の異なる結晶面指数による暗視野像及び明視野像について同時に観察及び表示する手段と、前記透過電子顕微鏡像上に現われる等厚干渉縞の強度分布を検出する手段と、該等厚干渉縞の強度分布から試料内の組成と格子歪を分離して定量解析し、該解析結果を表示する手段を持つことを特徴とする組成及び格子歪測定用電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/22
, H01J 37/20
, H01J 37/26
