特許
J-GLOBAL ID：200903053868205239
カセットの搬送方法および該方法に用いる自動倉庫
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289619
公開番号（公開出願番号）：特開平9-134945
出願日： 1995年11月08日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルーム内外のスペースを有効に活用し、安全で、しかも低コストにカセットを搬送することができるカセットの搬送方法を提供する。【解決手段】 基板が収納されるカセットを保管するための複数の保管棚4と、地上を走行し、前記カセットKの保管および取り出しを行なう搬送ロボットを有する自動倉庫1a、1b、1cが、前記基板を処理する複数の製造工程A、B、Cのそれぞれに対応して設置されている製造工場において、製造工程A、B、C間のカセットKの搬送を前記自動倉庫1a、1b、1cの幅方向の範囲内で行なう。
請求項（抜粋）：
基板が収納されるカセットを保管するための複数の保管棚と、地上を走行し、前記カセットの保管および取り出しを行なう搬送ロボットを有する自動倉庫が、前記基板を処理する複数の製造工程のそれぞれに対応して設置されている製造工場において、製造工程間のカセットの搬送を前記自動倉庫の幅方向の範囲内で行なうことを特徴とするカセットの搬送方法。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 521
H01L 21/68 A
, B65G 1/00 521 D
