特許

J-GLOBAL ID：200903053871366057

固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 栗山 俊寛
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-173946
公開番号（公開出願番号）：特開2005-011969
出願日： 2003年06月18日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】曲率の大きな層内レンズを含む固体撮像装置であっても、フォトダイオード部が受ける光の量を増加させ、かつ混色を低減できる固体撮像装置、および固体撮像装置の製造方法を提供する。【解決手段】カラーフィルタ120と光電変換部との間に配置される層内レンズを、中央レンズ132および環状レンズ134とを備えるフレネルレンズ構造にすることにより、層内レンズの厚さを薄くし、カラーフィルタを薄膜化することなく上部レンズの位置を低くしている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

画素ごとに配置された各光電変換部が入射光量に応じた電荷を発生し、各光電変換部で発生した電荷を電気信号に変換し、前記電気信号を出力する固体撮像装置であって、 各前記光電変換部の上方に配置され、特定の波長の光を透過させるカラーフィルタ層と、 前記カラーフィルタ層の上部に配置され、入射した光を収束させて当該カラーフィルタ層に入射させる上部レンズと、 前記カラーフィルタ層と前記光電変換部との間に配置され、前記上部レンズで収束された光をさらに収束させて対応する光電変換部に入射させる層内レンズとを備え、 前記層内レンズは、フレネルレンズ構造を有していることを特徴とする、固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L27/14 ,  H04N5/335 ,  H04N9/07

FI (4件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 U ,  H04N5/335 V ,  H04N9/07 A

Fターム (29件)：

4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118FA35 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06 ,  4M118GD07 ,  4M118GD09 ,  5C024AX01 ,  5C024CY47 ,  5C024CY48 ,  5C024DX01 ,  5C024EX22 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GX03 ,  5C065BB19 ,  5C065BB42 ,  5C065CC01 ,  5C065DD02 ,  5C065DD17 ,  5C065EE03 ,  5C065EE11