特許

J-GLOBAL ID：200903053883437162

圧力空間仕切り構造

発明者： 浅井 雅文 ,  佐藤 規
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-095742
公開番号（公開出願番号）：特開2003-287146
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】 第1および第2の圧力空間の仕切り部に、第1の圧力空間から第2の圧力空間に向けてベローズが配置され、該ベローズの先端側が第2の圧力空間内の可動物体に連結され圧力空間仕切り構造に関し、ベローズで仕切られた圧力空間内の可動部材をベローズを伸縮させながら移動させる際に、可動部材を正確に位置決めできる圧力空間仕切り構造を実現する。【解決手段】 ベローズ20と案内管25とで挟まれた筒状空間60がシールドキャップ61で封じられていると共に、筒状空間60と真空チャンバ1内の空間との圧力差を減少させるように、筒状空間60に連通した吸気管65を真空ポンプ66に接続し、筒状空間60を真空に吸引するように構成する。

請求項（抜粋）：

第1および第2の圧力空間の仕切り部に、前記第1の圧力空間から前記第2の圧力空間に向けてベローズが配置され、該ベローズの先端側が前記第2の圧力空間内の可動物体に連結されると共に、前記第1の圧力空間側から前記可動物体に連結する配管は前記ベローズの内側を通され、前記可動物体の移動は前記ベローズの軸方向の伸縮により確保される圧力空間仕切り構造であって、前記ベローズの内外圧力差を減少させる圧力差調整手段を有する圧力空間仕切り構造。

IPC (9件)：

F16J 15/56 ,  F16J 3/04 ,  G03F 7/20 504 ,  G11B 7/26 501 ,  G21K 5/00 ,  G21K 5/04 ,  G21K 5/10 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/20

FI (9件)：

F16J 15/56 ,  F16J 3/04 Z ,  G03F 7/20 504 ,  G11B 7/26 501 ,  G21K 5/00 A ,  G21K 5/04 M ,  G21K 5/10 T ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/20 D

Fターム (18件)：

2H097AA03 ,  2H097CA16 ,  2H097LA20 ,  3J042AA06 ,  3J042CA30 ,  3J042DA20 ,  3J045AA06 ,  3J045AA13 ,  3J045CB10 ,  3J045CB21 ,  3J045EA10 ,  5C001AA03 ,  5C001AA08 ,  5C001CC06 ,  5C033KK01 ,  5C033KK07 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-192989
  
• 静圧軸受装置及びそれを用いた光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-356303   出願人：株式会社ニコン
• ステージ装置及びそれを用いた光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-193190   出願人：株式会社ニコン