特許
J-GLOBAL ID:200903053885629301

光学多層膜フィルタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊丹 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-330005
公開番号(公開出願番号):特開平8-160220
出願日: 1994年12月05日
公開日(公表日): 1996年06月21日
要約:
【要約】【目的】 膜厚のばらつきの影響が小さく、半値幅の狭いバンドパス特性を得ることができる光学多層膜フィルタを提供する。【構成】 BK-7基板上に、SiO2 層とTiO2 層を交互に積層した43層構造とする。中心層22層目が光学膜厚λ/2のTiO2 層(2H)であり、中心から下半分では、光学膜厚λ/4のSiO2 層(L)と光学膜厚λ/4のTiO2 層(H)の10対(L・H)10のうち、下から2番目の対と4番目の対に2H層が挿入されている。中心から上半分については、H層とL層の10対(H・L)10のうち上から2番目の対と4番目の対に2H層が挿入されている。
請求項(抜粋):
透明基板上に、屈折率の異なる光学膜厚λ/4の光学媒質層を交互に多層に積層してバンドパスフィルタ特性を得る光学多層膜フィルタにおいて、多層構造の所定の複数層位置に光学膜厚λ/2の層を混在させたことを特徴とする光学多層膜フィルタ。
IPC (2件):
G02B 5/28 ,  B32B 7/02 103

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