特許

J-GLOBAL ID：200903053886646072

電子線投影露光装置におけるブランキングシステム

発明者： ワーナー スティッケル ,  スティーブン ダグラス ゴラディ
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-232309
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091228
出願日： 1999年08月19日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 電子線投影露光装置におけるブランキングシステムを提供する。【解決手段】荷電粒子線投影露光装置は、荷電粒子線源Sと、第一シンメトリー面を備えたコンデンサーレンズの第一ダブレットIL1とを備える。トリムアパーチャTAは第一ブランキングアパーチャとしての役割を果たし、第一ダブレットの第一シンメトリー面に配置されている。トリムアパーチャの次に、成形アパーチャSAが配置される。次は、第二シンメトリー面を備えたコンデンサーレンズの第二ダブレットIL2である。第二ダブレットのシンメトリー面に配置された第三アパーチャは、他のブランキングアパーチャとしての役割を果たす。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線源と、第一の一対のコンデンサーレンズと、前記第一の一対のコンデンサーレンズのレンズ間に配置された第一アパーチャと、クロスオーバーを有する第二の一対のコンデンサーレンズと、前記クロスオーバー像位置におけるブランキングアパーチャと、を備えた荷電粒子線投影露光装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/305

FI (5件)：

H01L 21/30 541 B ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/09 Z ,  H01J 37/147 C ,  H01J 37/305 B