特許

J-GLOBAL ID：200903053890505335

試料ステージ駆動装置

発明者： 松谷 幸
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-057476
公開番号（公開出願番号）：特開平7-272660
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 バックラッシュの影響を無くし、操作手段からの指示により正確にステージの移動を行うことかできる試料ステージ駆動装置を実現する。【構成】 操作装置7からステージの移動方向の反転を指示したとき、制御部8はバックラッシュの影響がなくなるまで、つまり、ステージの駆動部3の反転方向の駆動に対し、試料位置検出装置10から最初に試料ステージ1の位置の変化を検出するまで、移動の指示を駆動部3に対して行う。この時の駆動部の駆動の速度は極めて速く設定される。試料位置検出装置10から試料ステージ1の移動開始の信号が得られた時、制御部8は、駆動部3に対して操作装置7から指示された距離に対応した駆動信号を与える。

請求項（抜粋）：

試料が載せられた試料ステージと、試料の位置を検出する試料位置検出手段と、試料ステージを移動させるための駆動手段と、試料ステージの移動を操作する操作手段と、操作手段からの信号に基づいて駆動手段を制御する制御部とを備えており、該制御部は、操作手段からの試料の移動についての信号と試料位置検出手段からの試料の実際の移動を示す信号とに基づいて駆動手段を制御するように構成した試料ステージ駆動装置。