特許

J-GLOBAL ID：200903053897867160

電気容量型シリコン圧力センサ

発明者： 五十嵐 康恭
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-090067
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264383
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 低コストで製造可能な新規な電気容量型シリコン圧力センサの構造を提供する。【構成】 シリコン基板の一方の面に酸化シリコン膜を、その上に第一の電極を設け、この電極上に第一の絶縁性多結晶シリコン薄膜を、又更にその上に周縁部で接しかつ中央部で離間して平板状の空間を形成するように第二の絶縁性多結晶シリコン薄膜を設け、該第二の薄膜上に第二の電極を形成した構造。

請求項（抜粋）：

シリコン基板の一方の面に設けた酸化シリコン膜上に第一の電極を有し、該第一の電極上に第一の絶縁性多結晶シリコン薄膜を設け、該第一の薄膜上に該膜と周縁部で接しかつ中央部で離間して平板状の空間を形成するように第二の絶縁性多結晶シリコン薄膜を設け、該第二の薄膜上に第二の電極を形成してなる、電気容量型シリコン圧力センサ。