特許

J-GLOBAL ID：200903053900393000

薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置

発明者： 岸野 哲也
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-037275
公開番号（公開出願番号）：特開2006-229282
出願日： 2005年02月15日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：

【課題】 低損失で信頼性が高く、しかも安価な薄膜バルク音響波共振子を提供する。 【解決手段】 基板11上に、音響アイソレーション層12、下部電極層13、圧電体層14および上部電極層15を順次積層してなる薄膜バルク音響波共振子において、音響アイソレーション層12は、多孔質層もしくは発泡層17を含むとともに、これら多孔質層もしくは発泡層17と下部電極層13との間に配置され、多孔質層もしくは発泡層17よりも気孔率の少ない材料からなる、多孔質層もしくは発泡層17の下部電極層13側の表面の凹凸の高さよりも厚い中間層16を含む薄膜バルク音響波共振子である。音響インピーダンスの著しく小さい多孔質層もしくは発泡層17により基板11とのアイソレーションを確保しつつ、中間層16により音響アイソレーション層12の表面の凹凸を平滑化することで、低損失で信頼性の高いものとなる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板上に、音響アイソレーション層、下部電極層、圧電体層および上部電極層を順次積層してなる薄膜バルク音響波共振子において、前記音響アイソレーション層は、多孔質層もしくは発泡層を含むとともに、これら多孔質層もしくは発泡層と前記下部電極層との間に配置され、前記多孔質層もしくは発泡層よりも気孔率の少ない材料からなる、前記多孔質層もしくは発泡層の前記下部電極層側の表面の凹凸の高さよりも厚い中間層を含むことを特徴とする薄膜バルク音響波共振子。

IPC (6件)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/54 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (7件)：

H03H9/17 F ,  H03H9/54 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z

Fターム (8件)：

5J108AA01 ,  5J108AA07 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108FF05 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第5,373,268号明細書