特許

J-GLOBAL ID：200903053918475054

光学素子成形用型

発明者： 井口 裕章 ,  根岸 光正 ,  高野 潤
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-100314
公開番号（公開出願番号）：特開平9-286624
出願日： 1996年04月22日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】高強度で高精度な鏡面を得ることができ、しかも、成形素材との融着反応を起しにくい、光学素子の成形用型を提供する。【解決手段】型母材1がSiCの焼結体であり、型母材1の成形面上には、第1中間層2、第2中間層3、および、最上位層4が順に形成されており、第1中間層2は、SiC層であり、第2中間層3は、TiN、AlN、ZrN、TaN、TiAlNから選ばれた少なくとも一種の金属窒化物の層であり、最上位層4は、第2中間層3上に形成されたのち高真空下で再結晶したPt層となっている。

請求項（抜粋）：

光学素子のプレス成形に用いる光学素子成形用型において、型母材がSiCの焼結体であり、前記型母材の成形面上には、第1中間層、第2中間層、および、最上位層が順に形成されており、前記第1中間層は、SiC層であり、前記第2中間層は、TiN、AlN、ZrN、TaN、TiAlNから選ばれた少なくとも一種の金属窒化物の層であり、前記最上位層は、前記第2中間層上に形成されたのち高真空下で再結晶したPt層であることを特徴とする光学素子成形用型。

IPC (3件)：

C03B 11/00 ,  C03B 11/08 ,  C03B 40/02

FI (4件)：

C03B 11/00 N ,  C03B 11/00 Z ,  C03B 11/08 ,  C03B 40/02