特許

J-GLOBAL ID：200903053919739080

感放射線性樹脂組成物

発明者： 諏訪 充史 ,  岩沢 晴生 ,  山本 将史 ,  梶田 徹
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-270685
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265067
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】 化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性が高く、十分なドライエッチング耐性を有するとともに、解像度が優れ、かつパターン形状、感度等を加味した特性バランスにも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)(a)8-t-ブトキシカルボニルテトラシクロ[ 4.4.0.11,5 .17,10 ]で代表される単量体に由来する繰返し単位(I)、または該繰返し単位(I)と無水マレイン酸に由来する繰返し単位(II)、および(b)2個以上の重合性炭素-炭素二重結合が酸の作用により分解する2価の基を介して連結した構造を有する単量体に由来する繰返し単位(III)を含有する共重合体、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有するか、さらに(C)酸の存在下で解離して酸性官能基を生じる酸解離性有機基を含有する分子量1,000以下の脂環族化合物を含有する。

請求項（抜粋）：

(A)(a)下記一般式(1)で表される繰返し単位(I)、または下記一般式(1)で表される繰返し単位(I)と下記一般式(2)で表される繰返し単位(II)、および(b)重合性の炭素-炭素二重結合を2個以上有し、かつ酸の作用により分解する下記一般式(3)または一般式(4)で表される2価の基を少なくとも1個有する単量体であって、各炭素-炭素二重結合が前記2価の基を介して連結した構造を有する単量体の該炭素-炭素二重結合が開裂して得られる繰返し単位(III)を含有する共重合体、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、AおよびBは相互に独立に水素原子または酸の存在下で解離して酸性官能基を生じる炭素数20以下の酸解離性有機基を示し、かつAおよびBの少なくとも一方が該酸解離性有機基であり、XおよびYは相互に独立に水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を示し、nは0または1である。〕【化2】【化3】〔一般式(3)において、R1 およびR2 は相互に独立に炭素数1〜5のアルキル基を示す。〕【化4】〔一般式(4)において、R3 およびR4 は相互に独立に炭素数1〜5のアルキル基を示す。〕

IPC (5件)：

G03F 7/039 601 ,  C08L 35/00 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/039 601 ,  C08L 35/00 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R