特許

J-GLOBAL ID：200903053924980380

カラーフィルターの製造方法

発明者： 五味 良幸
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-005400
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202117
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 カラーフィルターの製造において、レジスト面上にムラのない微細なパターンを形成することができる現像工程。【解決手段】 透明基板上に着色レジストを塗布し、加熱乾燥、露光、現像、熱硬化工程によりパターン形成するカラーフィルターの製造工程において、露光工程の後、現像工程の前にプリウェット処理工程を有し、該プリウェット処理工程が、基板の搬送方向と直角な方向に開口したスリット状のノズルから、現像工程で使用する現像液と同じ液を搬送中の基板上に流下させ、基板上の現像液を基板の搬送方向と逆向きに流れさせる工程であることを特徴とする、カラーフィルターの製造方法。

請求項（抜粋）：

透明基板上に着色レジストを塗布し、加熱乾燥、露光、現像、熱硬化工程によりパターン形成するカラーフィルターの製造工程において、露光工程の後、現像工程の前にプリウェット処理工程を有し、該プリウェット処理工程が、基板の搬送方向と直角な方向に開口したスリット状のノズルから、現像工程で使用する現像液と同じ液を搬送中の基板上に流下させ、基板上の現像液を基板の搬送方向と逆向きに流れさせる工程であることを特徴とする、カラーフィルターの製造方法。

IPC (4件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/30 569 D