液晶用基板の製法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-121672
公開番号（公開出願番号）：特開平5-313149
出願日： 1992年05月14日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】本発明は、諧調を実現するための方法を提案するものである。【構成】液晶用基板において、鋸歯状表面を有する基板を、酸素ガスを使ったリアクティブ・イオン・エッチ法で得ることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

酸素ガスを使った、リアクティブ・イオン・エッチ法で、有機基板にないし有機表層を有する基板に、斜めから、イオンを衝突させ、鋸歯状表面形状を有する基板を得ることを特徴とする液晶用基板の製法。

IPC (3件)：

G02F 1/1333 500 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1343

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