特許

J-GLOBAL ID：200903053935814920

マイクロ波検出装置、その製造方法及び超伝導素子を用いた電磁波検出装置

発明者： 鈴木 雄一郎 ,  大嶋 重利
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社 ,  大嶋 重利
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-078932
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275289
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 真空容器内面からの反射波によるS/N比の低下を抑制することが可能な電磁波検出装置を提供する。【解決手段】 開口部を有する真空容器の内面の少なくとも一部の領域を、反射防止膜が覆う。反射防止膜は、マイクロ波の反射を低減する。マイクロ波を透過させる材料で形成された窓部材が、開口部を気密に塞ぐ。真空容器内に、マイクロ波を検出する素子が配置されている。

請求項（抜粋）：

開口部を有する真空容器と、前記真空容器の内面の少なくとも一部の領域を覆い、マイクロ波の反射を低減する反射防止膜と、前記開口部を気密に塞ぎ、マイクロ波を透過させる材料で形成された窓部材と、前記真空容器内に配置され、マイクロ波を検出する素子とを有するマイクロ波検出装置。

IPC (4件)：

G01R 29/08 ZAA ,  G02B 1/11 ,  H01L 39/04 ZAA ,  H01Q 17/00

FI (4件)：

G01R 29/08 ZAA F ,  H01L 39/04 ZAA ,  H01Q 17/00 ,  G02B 1/10 A

Fターム (18件)：

2K009AA02 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC14 ,  4M114AA28 ,  4M114AA40 ,  4M114BB03 ,  4M114CC08 ,  4M114CC11 ,  4M114CC18 ,  4M114DA02 ,  4M114DA51 ,  4M114DA52 ,  4M114DA60 ,  5J020BD02 ,  5J020BD04 ,  5J020EA05 ,  5J020EA09