特許
J-GLOBAL ID：200903053936613073
光スキャンナ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277396
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130311
出願日： 1992年10月15日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 部品位置合わせ調節が不要で、小型の光スキャンナを提供する。【構成】 半導体基板1上に、振動子5と、振動子固定部4と、振動子5に振動を励起する振動励起用半導体レーザ3が集積化されている。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に、振動子と、該振動子に振動を励起する振動励起用半導体レーザとが集積化されている光スキャンナ。
IPC (3件)：
G02B 26/10
, G01H 1/00
, H01S 3/133
