特許

J-GLOBAL ID：200903053941962078

局所研磨装置

発明者： 阿部 耕三 ,  井口 信明
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  黒田精工株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-151385
公開番号（公開出願番号）：特開平10-000554
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 Siウエハなどの高精度な表面平坦度が要求される製品を対象とし、表面の凹凸や傾斜等を検出しながら高精度に研磨する、また不合格となった製品の凸部を検出しながら研磨することで不合格品を救済することのできる装置。【解決手段】 被研磨材を載置し固定するチャック、チャックを被研磨材の載置面内で回転させる回転機構、チャックの上方にて前記載置面に対し平行移動可能なXスライド、Xスライドの移動機構、Xスライドに固設された変位センサおよび研磨ヘッド、変位センサの検出結果に基づいて研磨ヘッドの作動を制御するとともに、チャックの前記回転およびXスライドの前記平行移動を制御する制御器からなる。また、チャックの回転機構に替えて平行移動機構を設けたもの。【効果】 表面の形状検出と局部研磨を同一チャック上で行え、単純な装置構成で処理時間も短い。

請求項（抜粋）：

被研磨材を載置し固定するチャック、該チャックを被研磨材の載置面内で回転させる回転機構、該チャックの上方にて前記載置面に対し平行移動可能なXスライド、該Xスライドの移動機構、該Xスライドに固設された変位センサおよび研磨ヘッド、該変位センサの検出結果に基づいて該研磨ヘッドの作動を制御するとともに、チャックの前記回転およびXスライドの前記平行移動を制御する制御器からなる局所研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 D ,  H01L 21/304 321 E