特許

J-GLOBAL ID：200903053945052432

感光性組成物および半導体装置

発明者： 早 瀬 留美子 ,  御子柴 智 ,  川門前 善 洋 ,  真 竹 茂 ,  早 瀬 修 二
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-264033
公開番号（公開出願番号）：特開2001-092136
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 解像性、感度、耐熱性に優れたアルカリ水溶液で現像できる感光性組成物および、耐熱、耐湿信頼性の高い樹脂封止型半導体装置を提供する。【解決手段】 下記式1で表わされる繰り返し単位を有するポリアミドと下記式2で表わされる光照射によって酸を発生する化合物を含むことを特徴とする感光性組成物、およびこれを用いて形成されたポリイミド膜を具備してなる半導体装置。【化1】〔式中、R1 は4価の有機基、R2 は2価の有機基、R3 は2価の有機基、R4 は1価の有機基を示す。〕

請求項（抜粋）：

下記一般式1で表わされる繰り返し単位を有するポリアミドと下記一般式2で表わされる光照射によって酸を発生する化合物を含むことを特徴とする、感光性組成物。【化1】〔式中、R1 は4価の有機基、R2 は2価の有機基、R3 は2価の有機基、R4は1価の有機基を示す。〕

IPC (4件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/38 511

FI (4件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/38 511

Fターム (17件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB25 ,  2H025FA07 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096BA11 ,  2H096CA12 ,  2H096EA02 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08