特許

J-GLOBAL ID：200903053949267131

レーザ出力制御方法、レーザ装置および露光装置

発明者： 郷 勝人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-033515
公開番号（公開出願番号）：特開2000-232249
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】 レーザ出力制御方法、レーザ装置および露光装置において、ハードウェア等の機器構成を変更することなしに、レーザ発振のための充電に係る時間を短縮すること。【解決手段】 次のパルスのために予め設定された仮充電電圧値を目標に充電を開始するとともに、仮充電電圧値までの充電の間に次のパルスに必要な目標充電電圧値を算出し、さらに、目標充電電圧値が算出された時点で、仮充電電圧値に代えて目標充電電圧値を目標に充電を行うので、次のパルスのために直ぐに充電が開始され、ある程度の充電がされた状態で、仮充電電圧値から目標充電電圧値に目標が切り換わるため、充電完了までの時間が大幅に短縮される。

請求項（抜粋）：

パルス毎に充電を行ってレーザ発振させるレーザの出力を制御する方法であって、次のパルスのために予め設定された仮充電電圧値を目標に前記充電を開始するプリチャージ工程と、該プリチャージ工程の間に次のパルスに必要な目標充電電圧値を算出する目標電圧算出工程と、該目標電圧算出工程で目標充電電圧値が算出された時点で前記プリチャージ工程の仮充電電圧値に代えて目標充電電圧値を目標に前記充電を行うファインチャージ工程とを備えていることを特徴とするレーザ出力制御方法。

IPC (4件)：

H01S 3/104 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/225

FI (4件)：

H01S 3/104 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01S 3/223 E

Fターム (15件)：

2H097BB01 ,  2H097CA17 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DC01 ,  5F071AA06 ,  5F071HH02 ,  5F071HH07 ,  5F071JJ07 ,  5F071JJ08 ,  5F071JJ10