特許
J-GLOBAL ID：200903053951785247
エレクトレット応用装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-070690
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257832
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】性能ばらつきの小さなエレクトレット応用装置を提供する。【解決手段】 固定片20と、可動部10aを一体的に有する可動片10と、可動部10aにおける固定片20側の面に形成されたエレクトレット3とを有する。エレクトレット3の等価電圧は、固定片20と可動片10とを接合した後に可動部10aのエレクトレット3が形成された面と反対側の面にレーザー照射を行うことによって調整してある。
請求項（抜粋）：
固定電極を有する固定片と、前記固定電極に空隙を介して対向する可動部を有し前記可動部が揺動自在に支持され前記固定片に接合された可動片と、前記可動部における前記固定片に対向する面側に形成されたエレクトレットとを有し、前記エレクトレットは、前記固定片と前記可動片とを接合した後に等価電圧が調整されていることを特徴とするエレクトレット応用装置。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, G01L 9/12
, H01H 59/00
G01P 15/125
, G01L 9/12
, H01H 59/00
