特許

J-GLOBAL ID：200903053951932444

高圧グロー放電ランプ

発明者： クラウス ベネキング ,  ホルスト ダナート ,  マンフレッド ナイガー ,  フォルカー ショープ ,  クラウス ストックバルド
出願人/特許権者： エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-172801
公開番号（公開出願番号）：特開平5-205704
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】 高い放射効率を有する、更に大きな表面積および高い放射効率を有し均一に放射するプレーナ放射源を可能にする高圧グロー放電ランプを提供することにある。【構成】 密封端子法で密封され、エキシマを形成するガス混合物が充填された放電空間3を包囲し、その平行壁4、5が誘電体材料から形成される、プレーナ放電容器を有する高圧グロー放電ランプ1。放電空間3から離間する壁4、5の表面6、7はプレーナ電極8、9を備える。その関連した電極8を備えたこれらの壁の少なくとも一つ5は、発生する放射に対して少なくとも部分的な透過性を示す。ガス混合物は少なくとも一種の希ガスXe、KrおよびArならびに少なくとも一種のハロゲンを含む。エキシマを形成する物質の分圧はXeおよび/またはKrの場合には10〜600ミリバール、Arの場合には10〜1000ミリバールである。ハロゲンの分圧はエキシマを形成する物質の分圧の0.05〜5%である。エキシマを形成する物質の原子質量はハロゲンの原子質量より大きい。

請求項（抜粋）：

密封端子法で密封され、エキシマを形成するガス混合物で充填された放電空間を包囲し、その平行壁が誘電体材料から形成される、プレーナ放電容器を有し、放電空間から離間するその壁表面にプレーナ電極を備え、その関連した電極を備えた前記壁の少なくとも一つが、発生する放射に対して少なくとも部分的な透過性を示し、ガス混合物がエキシマを形成するために少なくとも一種の希ガスXe、KrおよびArならびに少なくとも一種のハロゲンI2 、Br2 、Cl2 およびF2 を含む高圧グロー放電ランプにおいて、エキシマを形成する物質の分圧がXeおよび/またはKrの場合には10〜600ミリバールの範囲であり、Arの場合には10〜1000ミリバールであり、ハロゲンの分圧がエキシマを形成する物質の分圧の0.05〜5%の範囲であり、更にエキシマを形成する物質の原子質量がハロゲンの原子質量より大きいことを特徴とする高圧グロー放電ランプ。

IPC (2件)：

H01J 65/04 ,  H01J 61/12