特許
J-GLOBAL ID：200903053953439508
大量生産型単結晶引き上げシステム
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-056739
公開番号（公開出願番号）：特開平6-340491
出願日： 1994年03月02日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 高純度のシリコン単結晶を大量に効率良く生産するため、単結晶取得率および装置稼働率の良い大量生産型単結晶引き上げシステムを提供する。【構成】 メルトレシーブ14の外縁に設けた切り欠き部をフォークリフトトラック16で持ち上げることにより、るつぼ軸と電極とを残して単結晶引き上げ装置1から一括取り外し可能なホットゾーンパーツ2を、1基の単結晶引き上げ装置に対して複数組用意する。単結晶15の引き上げ完了後、上部チャンバ8、下部チャンバ7を上昇、旋回させて使用済みホットゾーンパーツ2aを搬出し、入れ代わりに清掃、整備済みのホットゾーンパーツ2bを取り付ける。使用済みホットゾーンパーツ2aは、単結晶引き上げ装置1から隔離された作業室17で清掃および点検整備を行い、原料多結晶を充填した上、保管する。本システムにより、単結晶引き上げ装置の汚染防止と休止時間の大幅短縮ができる。
請求項（抜粋）：
1基の単結晶引き上げ装置に対して複数組のホットゾーンパーツまたは複数組の上部チャンバ、下部チャンバおよび前記チャンバ内に収容したホットゾーンパーツと、使用済みホットゾーンパーツまたは使用済み上部チャンバ、下部チャンバおよびホットゾーンパーツの清掃ならびに点検、交換、多結晶の充填を行う作業室と、前記単結晶引き上げ装置と作業室とを往復または循環する前記ホットゾーンパーツまたは上部チャンバ、下部チャンバおよび前記チャンバ内に収容したホットゾーンパーツの搬送手段とを備えたことを特徴とする大量生産型単結晶引き上げシステム。
IPC (4件)：
C30B 15/00
, B08B 13/00
, C30B 35/00
, H01L 21/208
