特許
J-GLOBAL ID：200903053955145978
ブラシスクラブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-133971
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326066
出願日： 1993年05月12日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、ブラシスクラブ装置におけるウエハの保持角度を変えることにより、洗浄液の流れを変えてウエハの洗浄効果を高め、歩留りの向上を図る。【構成】 ウエハ21を保持しながら回転するウエハ保持治具11と、それに保持されたウエハ21のウエハ面22を回転しながら擦るブラシ12と、ウエハ21の上方より少なくともブラシ12側のウエハ面22に向けて洗浄液31を供給する洗浄液供給部14とを備え、ウエハ面22を所定角度に保持する状態にウエハ保持治具11を傾けて設けたものである。ウエハ面22の傾き角αはおよそ90°が望ましい。また、図示はしないが、上記ブラシはウエハの両面側に設けてもよく、さらにウエハ面に沿って、かつブラシの回転軸に対してほぼ直角方向に移動可能に設けてもよい。またはブラシの近傍に、はね返り防止板を設けてもよい。
請求項（抜粋）：
ウエハを保持しながら回転するウエハ保持治具と、回転しながら前記ウエハ保持治具に保持されたウエハ面を擦るブラシと、前記ウエハの上方より少なくとも当該ウエハの洗浄面に向けて洗浄液を供給する洗浄液供給部とを備えたブラシスクラブ装置において、前記ウエハのウエハ面を所定角度に保持する状態に、前記ウエハ保持治具を傾けて設けたことを特徴とするブラシスクラブ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B08B 1/02
, H01L 21/68
