特許

J-GLOBAL ID：200903053964748146

パルスレーザ発生装置およびそれを用いた装置

発明者： 佐野 直人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-357374
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196789
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】 パルスエネルギー検出器の校正をより正確に行って出力パルスのエネルギーをより正確に制御できるようにする。【構成】 パルスレーザ光を出力するレーザ発生手段と、その出力光のエネルギーをパルス毎に検出するパルスエネルギー検出手段と、その検出結果に基きレーザ発生手段の出力光のエネルギーをパルス毎に制御する制御手段とを備えたパルスレーザ発生装置において、前記レーザ発生手段の平均出力を検出する平均出力検出手段と、前記レーザ発生手段の出力光のパルスの周波数を検出する周波数検出手段とを備え、前記制御手段は、前記平均出力検出手段および周波数検出手段から所定のタイミングで前記平均出力と周波数を得、これらを用いてパルス毎のエネルギーを算出し、これに基き前記パルスエネルギー検出手段を校正するものである。

請求項（抜粋）：

パルスレーザ光を出力するレーザ発生手段と、その出力光のエネルギーをパルス毎に検出するパルスエネルギー検出手段と、その検出結果に基きレーザ発生手段の出力光のエネルギーをパルス毎に制御する制御手段とを備えたパルスレーザ発生装置において、前記レーザ発生手段の平均出力を検出する平均出力検出手段と、前記レーザ発生手段の出力光のパルスの周波数を検出する周波数検出手段とを備え、前記制御手段は、前記平均出力検出手段および周波数検出手段から所定のタイミングで前記平均出力と周波数を得、これらを用いてパルス毎のエネルギーを算出し、これに基き前記パルスエネルギー検出手段を校正するものであることを特徴とするパルスレーザ発生装置。

IPC (2件)：

H01S 3/10 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S ,  H01L 21/30 311 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-135723
  
• 特開平1-274022
  
• 特開平2-102483
  
• 特開昭61-209790