特許

J-GLOBAL ID：200903053972503861

ドライ現像装置

発明者： 小西 信夫 ,  折居 武彦
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-120135
公開番号（公開出願番号）：特開平10-055073
出願日： 1989年09月08日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】 被処理体の過度な現像処理を有効に防止することができるドライ現像装置を提供すること。【解決手段】 被処理体(5)が収容され、減圧可能な現像処理室(6)と、処理室6内に現像ガスを供給する現像ガス供給手段(10,12)と、現像処理室(6)内を排気する排気系(17)と、現像処理室(6)内に大気を導入する給気系(12a)と、露光装置(19)と現像処理室(6)との間に設けられた減圧可能なロードロック室(18)と、ロードロック室(18)内に設けられ、露光装置(19)と現像処理室(6)との間で被処理体(5)を搬送する搬送手段(7)とを具備したドライ現像装置を用い、現像処理室(6)およびロードロック室(18)を減圧状態にして搬送手段(7)により被処理体(5)を現像処理室(6)内に搬送し、現像ガスにより現像処理を行い、現像終了後、排気系(17)により現像ガスを排出しつつ給気系(12a)により現像処理室(6)内に大気を導入する。

請求項（抜粋）：

露光装置による露光後の被処理体に現像ガスを接触させて現像処理するドライ現像装置であって、被処理体が収容され、減圧可能な現像処理室と、処理室内に現像ガスを供給する現像ガス供給手段と、現像処理室内を排気する排気手段と、現像処理室内に大気を導入する給気手段と、露光装置と前記現像処理室との間に設けられた減圧可能なロードロック室と、ロードロック室内に設けられ、露光装置と現像処理室との間で被処理体を搬送する搬送手段とを具備し、前記現像処理室およびロードロック室を減圧状態にして搬送手段により被処理体を前記現像処理室内に搬送し、その中で現像ガスにより現像処理を行い、現像終了後、前記排気手段により現像処理室内の現像ガスを排出するとともに前記給気手段により前記現像処理室内に大気を導入することを特徴とするドライ現像装置。

IPC (2件)：

G03F 7/36 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/36 ,  H01L 21/30 569 H

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-250125
  
• 特開昭62-216331
  
• 特開昭63-080531
  
• 特開昭59-024846