特許
J-GLOBAL ID：200903053988195865
成膜方法及び成膜工具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
安形 雄三
, 五十嵐 貞喜
, 北野 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-331959
公開番号（公開出願番号）：特開2009-155667
出願日： 2007年12月25日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
要約：
【課題】皮膜材を飛散することなく成膜用の工具と成膜対象の金属基材の平面との隙間に確実に集めることができ、成膜用の工具を意図的に加圧する必要がなく、よって装置構成が容易であり、また、厚みの均一な膜を金属基材の広範囲な平面に連続して形成することができるようにした、金属等の基材の平面に耐摩耗性等の皮膜層を形成する成膜方法及びこの成膜方法に用いられる成膜工具を提供する。【解決手段】円柱体の底部平面から側部外周面に向けて渦巻状に傾斜する複数条の溝を略等間隔に形成して成る成膜用の工具を用い、前記工具を回転させる間に、前記工具の底部周辺にある粉末状の皮膜材を集めて基材平面と前記工具の底面との間に押し込み、ここに高温、高圧、高剪断力を発生させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
金属基材の平面に皮膜層を形成する成膜方法であって、前記基材の平面に円孔内面を有する皮膜材格納部材を配置し、該円孔内面内に、円柱体の底部平面から側部外周面に向けて渦巻状に傾斜する複数条の溝を略等間隔に有して成る成膜用の工具を挿入可能とし、前記基材の平面と前記工具の底面との間、及び、前記皮膜材格納部材の円孔内面と前記工具の外周面との間にそれぞれ隙間を形成し、前記隙間に粉末状の皮膜材を供給格納してから前記皮膜材格納部材の上部に押え部材を被覆して前記皮膜材格納部材の位置を固定し、しかる後前記工具を回転手段を介して回転させることにより、前記皮膜材を前記溝を介して集めながら前記基材平面と前記工具底面との間に押し込み、このとき発生する高温、高圧、高剪断力により前記皮膜材を膜状化して皮膜することにより前記基材の平面に皮膜層を形成することを特徴とする成膜方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C24/08 B
, B23K20/12 310
, B23K20/12 344
4E067AA05
, 4E067BG00
, 4E067CA04
, 4E067DA13
, 4K044AA04
, 4K044AA06
, 4K044AB02
, 4K044BA02
, 4K044BA06
, 4K044BA10
, 4K044BB01
, 4K044BC01
, 4K044BC02
, 4K044BC11
, 4K044BC14
, 4K044CA23
, 4K044CA24
, 4K044CA29
, 4K044CA71
