特許

J-GLOBAL ID：200903053989100400

露光装置

発明者： 沢野 充 ,  岡崎 洋二 ,  永野 和彦 ,  石川 弘美
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-145345
公開番号（公開出願番号）：特開2003-337428
出願日： 2002年05月20日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：

【要約】【課題】 ライン状(縞模様等)の露光パターンを適切かつ迅速に露光可能とし、構成を簡素化して廉価な露光装置を提供する。【解決手段】 露光装置34における、全体的に一括して光量を変調する手段42によって変調した光束を光学系36、38からライン状に照射して、被露光媒体20の相対走査方向に向かって並ぶように設定したライン状の露光部分24を順次露光可能に構成する。ライン状の露光パターン24を適切かつ迅速に露光可能であると共に、全体的に一括して光量を変調する手段42によって光束を変調してから光学系36、38に光束を送って被露光媒体20上へライン状に照射するので、光量を変調する手段の構成を簡素化し廉価な露光装置34を提供可能とする。

請求項（抜粋）：

全体的に一括して光量を変調する手段によって変調した光束を光学系からライン状に照射して、被露光媒体の相対走査方向に向かって並ぶように設定したライン状の露光部分を順次露光可能に構成したことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 511 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/20 511 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 509

Fターム (14件)：

2H097AA05 ,  2H097BA10 ,  2H097CA06 ,  2H097CA17 ,  2H097LA01 ,  2H097LA04 ,  2H097LA05 ,  2H097LA20 ,  5F046BA02 ,  5F046CA03 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB23 ,  5F046CC15