特許
J-GLOBAL ID：200903053992084415
プラズマディスプレイパネルの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-051889
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222135
出願日： 1995年02月16日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 リブ形成工程を簡略化し、精度の高いリブを形成することができるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。【構成】未硬化状態の厚さが100〜300μmであるドライガラスペーストフィルムをリブ材として用いることにより、一回のサンドブラスト処理により、リブを形成する。
請求項（抜粋）：
ガラス基板上に未硬化状態の厚さ100〜300μmであるドライガラスペーストフィルムとドライフォトレジストフィルムとを積層する工程と、リブパターン用マスクを介して前記ドライフォトレジストフィルムを露光・現像する工程と、露光・現像されたドライフォトレジストフィルムをマスクとしてドライガラスペーストフィルムをサンドブラスト処理し、放電空間形成用の凹部を形成する工程と、前記ドライフォトレジストフィルムを除去すると共にドライガラスペーストフィルムを焼成する工程とを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 11/02 B
, H01J 9/02 F
