異物検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-401326
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272355
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】複雑で高価な光学系を用いなくても大きな板状試料における異物検査を高速かつ精度よく行うことができる異物検査装置を提供すること。【解決手段】検査ステージ2に保持された試料1の表面1aに対して光源からの光を照射し、そのときの前記試料表面からの散乱光を光検出器に入射させ、光検出器による散乱光強度に基づいて試料表面における異物の有無を検査する異物検査装置において、前記光源としてレーザパターンプロジェクタ4を用いる一方、前記光検出器としてリニアアレーセンサ9を用いた。

請求項（抜粋）：

検査ステージに保持された試料の表面に対して光源からの光を照射し、そのときの前記基板表面からの散乱光を光検出器に入射させ、光検出器による散乱光強度に基づいて試料表面における異物の有無を検査する異物検査装置において、前記光源としてレーザパターンプロジェクタを用いる一方、前記光検出器としてリニアアレーセンサを用いたことを特徴とする異物検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/956 , G01B 11/30 , G03F 1/08 , H01L 21/027

FI (4件)：

G01N 21/956 A , G01B 11/30 A , G03F 1/08 S , H01L 21/30 502 P

引用特許：

審査官引用 (10件)

欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-042424 出願人：株式会社ニコン
特開昭60-228910
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-137812 出願人：スズキ株式会社

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