特許

J-GLOBAL ID：200903054000322529

弾性表面波装置の製造方法及び弾性表面波装置

発明者： 渡辺 亨
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-277356
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090883
出願日： 1991年09月28日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 特に困難な方法によることなく、弾性表面波素子の機能面上に所定の振動空間を確保しつつ、弾性表面波素子の機能面の封止性能を向上させ、信頼性を向上させる。【構成】 弾性表面波素子3を、くし歯状電極2が形成された機能面3aを外部取出電極8が配設された基板5に対向させ、該くし歯状電極2及び表面波が伝搬する表面波伝搬路4を囲む位置に配設された弾性材料からなる環状部材10を介して基板5上に載置し、弾性表面波素子3を押圧して環状部材10を弾性表面波素子3及び基板5に密着させた状態で、接合部材6により弾性表面波素子3を基板5に固定するとともに、くし歯状電極2と外部取出電極8とを電気的に接続する。

請求項（抜粋）：

弾性表面波素子を、そのくし歯状電極が形成された機能面を外部取出電極が配設された基板に対向させ、該くし歯状電極及び表面波が伝搬する表面波伝搬路を囲む位置に配設された弾性材料からなる環状部材を介して基板上に載置し、弾性表面波素子を押圧して環状部材を弾性表面波素子及び基板に密着させた状態で、接合部材により弾性表面波素子を基板に固定するとともに、くし歯状電極と外部取出電極とを電気的に接続することを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。