ラビング検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-092994
公開番号（公開出願番号）：特開平6-059230
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】液晶表示パネルの製造工程中のラビング工程の検査を、同製造工程中に行うことのできるラビング検査装置を提供すること。【構成】偏光光学系7の2枚の偏光板7a,7bの偏光方向P,Aに対し、基板1上の配向膜をラビングした時のラビング方向1bをほぼ45度傾くように、基板1を保持する。さらに好ましくは、ステージの水平面内の移動方向(YまたはX)と前記ラビング方向1bとが平行になるようにステージの移動方向に合わせて基板1を保持する。

請求項（抜粋）：

基板を保持するステージと、前記基板の表面に塗布された配向膜の表面を偏光観察するために偏光方向が直交するように配置される2個の偏光素子を有する偏光光学系と、を具備し、所定方向に沿ってラビングされた前記配向膜の表面を検査することによってラビング検査を行うラビング検査装置であって、前記ステージは、前記ラビングの所定方向が前記偏光素子の各偏光方向に対してほぼ45度傾斜するように、基板を保持することを特徴とするラビング検査装置。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 , G01N 21/21 , G02F 1/1337 500

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